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ｲｰﾃｨｰｼｽﾃﾑｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ株式会社は半導体プロセスにおける各種治具から特殊ワーク向け製造装置のコンセプトから製作に至るまでを専門とする製造装置メーカーです。

TEL. 042-654-7151

〒193-0801 東京都八王子市川口町1489-1

ＭＥＭＳ分野SERVICE&PRODUCTS

製造プロセス＆製造装置

Cleaning

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Peeling

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Drying

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ＭＥＭＳ分野　洗浄装置


バッチ式洗浄装置
バッチ式洗浄処理に適応した装置です。
ワークのディップ処理から乾燥までの連続処理が可能です。

枚葉式洗浄装置　＜マルチスピンプロセッサー　ＭＳＰⅠ＞
少量生産、研究開発等に適した装置です。
ワークのケミカル処理から乾燥までの一貫処理が可能です。

枚葉式洗浄装置　＜マルチスピンプロセッサー　ＭＳＰⅡ＞
高精度な処理を要求されるワークの量産向け、少量多品種、複数プロセス向け
に適する装置です。
ワークのケミカル処理から乾燥までの一貫処理が可能です。

ＭＥＭＳ分野　乾燥装置


ＩＰＡベーパー乾燥装置
安全性、ＩＰＡ高効率回収、クリーン度を重視

バナースペース

ｲｰﾃｨｰｼｽﾃﾑｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ株式会社

〒193-0801
東京都八王子市川口町1489-1

TEL 042-654-7151
FAX 042-654-7233